宝企恒运昌亮相光博会，展现半导体设备国产化新突破

深圳特区报

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摘要

9月10日，第26届中国国际光电博览会和深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展在深圳国际会展中心启幕。本届展会首次采用“光电子+半导体”双展联动模式，汇聚全球3800家优质企业创新产品，成为观察中国光电和半导体产业发展的重要窗口。

展会上，来自深圳宝安区的国家级专精特新重点“小巨人”企业深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称恒运昌）获得央视CCTV-1新闻栏目的重点报道。恒运昌董事长乐卫平提到，此次展出的面向7nm及以下先进制程的全频段、多品类射频电源系列产品全部是自主研发，输出精度及稳定性比肩国际顶尖水平，与现场多家头部装备企业达成战略采购。

射频电源作为半导体制造过程中的核心零部件，被誉为等离子体工艺设备的“心脏”。在芯片制造的刻蚀、薄膜沉积、清洗等关键工艺环节中，射频电源的频率稳定性、功率精度和长期可靠性直接决定了芯片加工的良品率和产品性能。特别是在7纳米及更先进制程中，对射频电源的技术要求呈指数级提升，此前该领域长期被国际巨头垄断。

作为国内领先的集成电路装备核心零部件整体解决方案商，恒运昌经过十余年的持续研发、不断创新和积累，公司开展核心技术攻关，构建了涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术体系，形成3大基石技术和8大产品化支撑技术，实现了核心技术的完全自主可控。

恒运昌推出的CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，响应了集成电路芯片制造工艺中对等离子体电源快、准、稳的核心需求，率先在国内攻克了全数字射频电源的技术难题，为集成电路制造产业链的高端等离子体射频电源国产化之路铺设了坚实的基石。