涵盖81种装备产品！最新版首台（套）重大技术装备推广应用指导目录发布

近日，深圳市工信局官网发布《深圳市首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，涵盖81种装备产品，涉及集成电路制造装备、半导体制造装备、显示器件制造装备、激光加工制造装备、锂电池制造装备、医疗机器人、特种机器人、海洋工程装备等多个领域，以此加速提升深圳高端装备供给能力，加大创新产品推广力度。

首台(套)装备是指企业实现重大技术突破、拥有自主知识产权、尚未取得重大市场业绩的装备产品，具有高新技术突破、带动产业发展、市场潜力较大等突出特点，其创新和推广是发展新质生产力的重要体现。

此次发布的最新版指导目录中所列装备产品，均为国家战略性新兴产业培育发展及传统产业转型升级中所需的重大技术装备。其中，集成电路制造装备领域包括面板级先进封装溅射设备、超低空洞率半导体真空封装炉、DRAM FT一站式测试机等；半导体制造装备领域包括微纳材料烧结机、大尺寸边缘抛光设备、X射线量测设备、全自动半导体晶圆减薄设备等；显示器件制造装备领域包括Micro LED晶圆级光致发光检测设备、Micro LED精密绑定设备、显示屏油墨涂布设备等；海洋工程装备领域包括船舶结构件机器人智能焊接工作站海洋工程原位钻孔 加载测试装备等。

编辑 李斌 审读 吴剑林 二审 党毅浩 三审 甘霖