深圳两会声音 | 阮双琛：推动深圳高校建设半导体微纳光电加工中心

如何解决深圳市在培育集聚国产半导体材料设备企业（项目）缺失战略性试验线及中试线的掣肘问题，为半导体产业发展培养高端人才？日前，在深圳市政协七届三次会议上，深圳市政协常委、深圳技术大学校长阮双琛建议，推动深圳高校建设半导体微纳光电加工中心和集成电路中试线项目，打通半导体与集成电路产业链上下游，强化“产业链、创新链、人才链、教育链”深度有机协同，推动产教融合的高质量发展。

据阮双琛介绍，微纳工艺平台是集成电路、光电芯片、第三代半导体、汽车、智能传感等战略性新兴产业技术创新的重要载体，有利于企业微纳器件新产品研发和半导体集成电路人才培养。然而，“国内现有的工艺平台大多不具备完整的化合物半导体的设备和工艺能力，国内高校中先进的化合物半导体芯片的研究组很少，研发水平与国外存在较大差距。”他认为，国内光电芯片完整的生态系统尚未形成，亟须建立集前沿研发、技术转化、产业服务、人才培养于一体的生态链，建成一个系统完整、职业化运营的国际领先的芯片加工平台。

据介绍，深圳技术大学集成电路与光电芯片学院是大湾区第一所集成电路学院，具备与企业合作开发芯片的实践经验，使用、建设、运营半导体平台的团队经验丰富。院长宁存政带领课题组开展了大量研究，已经在芯片激光器、硅基光电子集成方面取得多项研究成果；片上半导体纳米激光器达到国际领先水平；射频芯片方面，与多家地方企业合作开展SAW/BAW芯片研究，申请相关中国发明专利3项。

“深圳技术大学拟建设的半导体微纳光电加工中心致力于打造成深圳市的公共技术服务平台，助力企业、科研机构半导体芯片制造工艺开发以及器件研制，促进全市的创新创业和人才培养。”阮双琛说。

据了解，该半导体微纳光电加工中心包括百级千级和万级超净区域，配备光刻、薄膜、刻蚀、炉管等生产和测试设备，具备光电芯片、MEMS芯片、第三代半导体芯片、新型微纳器件的制备能力，兼具小批量样品制造的验证功能。拟建设的集成电路中试线项目通过产业链设计、装备、材料、制造的协同创新，支持上游芯片设计和下游芯片封测发展，为国产集成电路材料和装备的验证提供支持，致力打造产教深入融合、芯片设计和制造高度结合的集成电路产业公共技术平台，支持本地区广大半导体企业在成熟工艺节点上快速形成产品，为本地区批量培养工程技术人员和运营团队，为深圳市及周边地区集成电路产业的发展提供基础性支撑。

（原标题《深圳两会时间 | 阮双琛：推动深圳高校建设半导体微纳光电加工中心》）

编辑 钟诗婷  审读 韩绍俊 二审 张玉洁 三审 刘一平